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精密机械加工尘埃粒子计数器 适用于十级及一级超净环境

发布时间:2025-9-8

精密机械加工尘埃粒子计数器使用背景

随着精密机械加工行业向微型化、高精密化方向快速发展,加工件的精度要求已从毫米级降至微米甚至纳米级,而生产环境中的微小尘埃粒子(如直径 0.5μm、5μm 的颗粒物)成为影响产品质量与加工设备寿命的关键隐患,催生了对精准尘埃监测工具的迫切需求。传统精密加工车间的尘埃监测方式存在明显短板:早期依赖人工目视检查或试纸采样,不仅检测效率低(单次检测需数小时),且无法量化粒子浓度,仅能判断 “肉眼可见污染”,难以捕捉微小粒子对高精度加工的影响 —— 例如,在半导体芯片封装模具加工中,直径仅 1μm 的尘埃附着在模具表面,便可能导致封装尺寸偏差,最终引发芯片性能故障;部分车间曾采用固定点位的简易监测设备,但这类设备覆盖范围有限,无法实时追踪加工区域(如数控机床周边、洁净工作台)的动态尘埃变化,易出现 “监测盲区”,导致突发污染未被及时发现。


硬件设备

OSEN-2510L型0.1um在线激光尘埃粒子计数器

OSEN-2510L型0.1um激光尘埃粒子计数器,是我司自主研发的全新一代产品。计数器以光散射原理为理论,通过光电传感技术实现对尘埃粒子粒径检测及粒子数量的计数。相比于普通款的大流量粒子计数器,此款仪器检测粒径更小,能最小检测0.1um的粒子数,适用于十级及一级的超净环境;适用于电子、半导体、液晶面板、微纳加工、航空航天、精密加工、新型材料、科研院所等超净场景。

技术参数

粒径范围:0.1um-10.0um

标准粒径通道:0.1um,0.2um,03.0.5um

0.1um粒径档计数效率:50±20%

浓度示值误差:0.5μms±20%FS

最大采样浓度:500000PC/CFM,浓度超限保护,并提示仪器自净

重复误差:5%F.S

自净时间:s10min

采样流量:28.3L±5%,实时监控,超限报警

采样周期:1-9999s可设置

连续工作:支持24h不间断稳定工作

激光光源:长寿命日本进口半导体激光二极管

真空:内部真空源,寿命{>}20000小时

显示:4.3英寸触摸屏

电源:DC24V/1A

通讯方式:RS485 @ModbusRTU/ 以太网 @ModbusTCP/无线通讯@LoRa

校准规范:JF1190-2008,GB/T 25915.1-2021

外壳:304 不锈钢

尺寸:宽19.2*深21.2°高15.2cm

重量:4kg

工作环境温度:0-40℃温度10%-90%无凝结

存储环境:温度-10-50℃温度0-90%无凝结

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